| 测量原理 |
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| 光谱共焦测量方法是利用光学材料对于不同单色光的折射率不相同这一物理现象特点,通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。 通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。 |
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| 产品优势 |
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> 采用光谱共焦测量法,利用波长信息新技术进行精密测量。 > 产品具有超高精度,1um的高测量精度,重复精度<1um。 > 产品具有超高稳定性,透明、镜面、高光金属均可进行测量; > 能高精度稳定测量透明体厚度和平整度,并可同时测量不同层面的位置值。 > 最优化的测量系统设计,科学的软件架构保证整个测量系统更高的重复精度和数据真实性。 |
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| 产品、功能简介 | |||||||
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| 应用领域 | |||||||
| 光谱共焦测量具有高速度,高精度,高适应性等明显优势,已被广泛应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。 近年来,我公司成功开发了L-SPEC系列化光谱共焦测量仪,在膜厚测量、超薄玻璃厚度测量、油墨/银浆厚度测量、三维轮廓测量、多层厚度测量等领域得到了成功的推广与应用。 |
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